電子特氣，以下簡稱特氣，是VLSI、液晶顯示設備、半導體發(fā)光器件和半導體材料的制造工藝中必不可少的基本支撐材料。其純度和清潔度直接影響著光電產(chǎn)品的質量、微電子元件的質量、集成度的具體技術指標和良率，從根本上限制了電路和器件的準確性。特氣管路系統(tǒng)是為保證特氣純度和安全穩(wěn)定輸送的供氣系統(tǒng)。

一、氣路系統(tǒng)常用器材

氣體鋼瓶、鋼瓶固定架、鋼瓶柜、鋼瓶接頭、金屬軟管、半自動切換裝置、一級減壓器、二級減壓器、焊接三通、焊接大小頭、卡套閥門、316L不銹鋼管道(BA、EP)、壓力表、可燃有毒氣體監(jiān)測報警裝置等等。

二、集中供氣注意事項

集中供氣避免氣體混合的問題：將所有載氣氣瓶根據(jù)氣體性質分別集中在一個氣瓶間中，其中*主要是將會相互反應的氣體分開存貯，如易燃易爆氣體(如H2、天燃氣、乙炔等)與助燃氣體(如氧氣、氯氣)。

三、氣體監(jiān)測報警系統(tǒng)安裝

氣體監(jiān)測報警系統(tǒng)指針對環(huán)境、易燃爆、毒腐等氣體所定制的安全監(jiān)控系統(tǒng)，通過氣體偵測器采集到信號傳遞至中控室電腦，或者直接傳遞至控制箱產(chǎn)生聲光報警，可以讓管理人員時間發(fā)現(xiàn)險情，防患于未然。整套系統(tǒng)可根據(jù)現(xiàn)場實際結合用戶需求深度定制，拓展為GMS和BMS系統(tǒng)。

四、氣體管道吹掃作用及方法

在系統(tǒng)安裝完畢投入使用前，應當用所輸送的高純凈氣體對輸配管路系統(tǒng)進行徹底的吹除。這樣不僅可以吹除由于安裝過程中不慎落入系統(tǒng)的粉塵粒子，而且也起著對管路系統(tǒng)的干燥作用，去除管壁甚至管材所吸留的部分含濕氣體。三種吹掃方式：抽空式、連續(xù)攻掃式、間斷吹掃式，可針對系統(tǒng)的不同的情況，采用一種或兩種方式同時應用。

五、特種氣體工藝系統(tǒng)的硬件需求

1、儲存、供氣的氣瓶柜（GC特氣柜）、氣瓶架（GR特氣架）。

2、氣體分配用閥門箱（VMB）、閥門盤（VMP）。

3、輔助氮氣吹掃系統(tǒng)。

4、尾氣處理設備（Local Scrubber）。